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一、久泰真空超高真空機組簡介
久泰真空超高真空分子泵系列排氣機組為適應(yīng)真空應(yīng)用市場需求而設(shè)計制造，整機簡潔、美觀、性能優(yōu)良，操作簡單、維護方便。我公司還可以根據(jù)客戶要求進行非標定制，保證質(zhì)量、及時供貨。
JT系列超高真空機組中真空獲得為分子泵+機械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動到400HZ后優(yōu)于3*10-3Pa ；30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa ；極限真空3*10-5Pa 。
機組為可移位臺式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣的需要。為縮短了排氣時間，有效提高工作效率，機組可配備預(yù)抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實現(xiàn)換工件、預(yù)抽真空、抽高真空的排氣流程。
二、超高真空機組選型指南
（1）抽速要求
目標真空度：根據(jù)實際工藝需求選擇合適的機組：
超高真空：10?6 至 10?8Pa。
極限真空：10?9Pa 以下，適用于實驗室和科研應(yīng)用。
腔體體積與抽氣時間：
計算腔體體積和抽速需求，確保機組能在所需時間內(nèi)達到目標真空度。
經(jīng)驗公式：抽氣時間 = (腔體體積 × ln(P1/P2)) / 抽速。
（2）主要配置
超高真空機組通常由前級泵、主泵（如渦輪分子泵或磁懸浮分子泵）、真空閥和控制系統(tǒng)組成。
主泵類型：
渦輪分子泵：適合大部分超高真空工藝，經(jīng)濟高效。
磁懸浮分子泵：無油污染，適用于極高潔凈度和高精密應(yīng)用場景。
前級泵選擇：
干式螺桿泵：無油設(shè)計，適合潔凈環(huán)境。
油封機械泵：經(jīng)濟型方案，適用于一般工業(yè)應(yīng)用。
真空閥：
配置超高真空插板閥或波紋管閥，確保密封性能。
冷卻方式：
根據(jù)泵的設(shè)計選擇風冷或水冷系統(tǒng)，確保設(shè)備在連續(xù)運行時溫度穩(wěn)定。
（3）工藝兼容性
氣體種類：確認目標氣體類型（如惰性氣體、腐蝕性氣體等），確保泵材質(zhì)和密封件的耐腐蝕性。
特殊要求：如需要處理大量水蒸氣或輕質(zhì)氣體，選擇具有高吞吐能力或優(yōu)化設(shè)計的型號。
（4）系統(tǒng)控制與安全
自動控制：選配智能控制系統(tǒng)，實現(xiàn)真空狀態(tài)的實時監(jiān)測與自動調(diào)節(jié)。
保護功能：確保配有防返流裝置、壓力過高保護和電源保護功能，防止設(shè)備損壞或工藝污染。
（5）運行環(huán)境與安裝空間
安裝空間：根據(jù)設(shè)備尺寸和維護需求預(yù)留足夠的空間。
環(huán)境溫度：大多數(shù)機組適用溫度為5–40°C，需避免過高或過低溫度運行。
振動與噪音：對振動和噪音敏感的應(yīng)用場景，建議選擇低振動、低噪音機型（如磁懸浮分子泵）。