一、久泰真空超高真空機(jī)組簡(jiǎn)介
久泰真空超高真空分子泵系列排氣機(jī)組為適應(yīng)真空應(yīng)用市場(chǎng)需求而設(shè)計(jì)制造,整機(jī)簡(jiǎn)潔、美觀、性能優(yōu)良,操作簡(jiǎn)單、維護(hù)方便。我公司還可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行非標(biāo)定制,保證質(zhì)量、及時(shí)供貨。
JT系列超高真空機(jī)組中真空獲得為分子泵+機(jī)械泵,設(shè)備真空度在分子泵啟動(dòng)到400HZ后優(yōu)于3*10-3Pa ;30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa ;極限真空3*10-5Pa 。
機(jī)組為可移位臺(tái)式小車(chē)結(jié)構(gòu),能夠滿足不同位置排氣的需要。為縮短了排氣時(shí)間,有效提高工作效率,機(jī)組可配備預(yù)抽排氣系統(tǒng),可在分子泵不停止的狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)換工件、預(yù)抽真空、抽高真空的排氣流程。
二、超高真空機(jī)組選型指南
(1)抽速要求
目標(biāo)真空度:根據(jù)實(shí)際工藝需求選擇合適的機(jī)組:
超高真空:10?6 至 10?8Pa。
極限真空:10?9Pa 以下,適用于實(shí)驗(yàn)室和科研應(yīng)用。
腔體體積與抽氣時(shí)間:
計(jì)算腔體體積和抽速需求,確保機(jī)組能在所需時(shí)間內(nèi)達(dá)到目標(biāo)真空度。
經(jīng)驗(yàn)公式:抽氣時(shí)間 = (腔體體積 × ln(P1/P2)) / 抽速。
(2)主要配置
超高真空機(jī)組通常由前級(jí)泵、主泵(如渦輪分子泵或磁懸浮分子泵)、真空閥和控制系統(tǒng)組成。
主泵類(lèi)型:
渦輪分子泵:適合大部分超高真空工藝,經(jīng)濟(jì)高效。
磁懸浮分子泵:無(wú)油污染,適用于極高潔凈度和高精密應(yīng)用場(chǎng)景。
前級(jí)泵選擇:
干式螺桿泵:無(wú)油設(shè)計(jì),適合潔凈環(huán)境。
油封機(jī)械泵:經(jīng)濟(jì)型方案,適用于一般工業(yè)應(yīng)用。
真空閥:
配置超高真空插板閥或波紋管閥,確保密封性能。
冷卻方式:
根據(jù)泵的設(shè)計(jì)選擇風(fēng)冷或水冷系統(tǒng),確保設(shè)備在連續(xù)運(yùn)行時(shí)溫度穩(wěn)定。
(3)工藝兼容性
氣體種類(lèi):確認(rèn)目標(biāo)氣體類(lèi)型(如惰性氣體、腐蝕性氣體等),確保泵材質(zhì)和密封件的耐腐蝕性。
特殊要求:如需要處理大量水蒸氣或輕質(zhì)氣體,選擇具有高吞吐能力或優(yōu)化設(shè)計(jì)的型號(hào)。
(4)系統(tǒng)控制與安全
自動(dòng)控制:選配智能控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)真空狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)調(diào)節(jié)。
保護(hù)功能:確保配有防返流裝置、壓力過(guò)高保護(hù)和電源保護(hù)功能,防止設(shè)備損壞或工藝污染。
(5)運(yùn)行環(huán)境與安裝空間
安裝空間:根據(jù)設(shè)備尺寸和維護(hù)需求預(yù)留足夠的空間。
環(huán)境溫度:大多數(shù)機(jī)組適用溫度為5–40°C,需避免過(guò)高或過(guò)低溫度運(yùn)行。
振動(dòng)與噪音:對(duì)振動(dòng)和噪音敏感的應(yīng)用場(chǎng)景,建議選擇低振動(dòng)、低噪音機(jī)型(如磁懸浮分子泵)。